石英玻璃（熔融石英）是 SiO2 含量 99.9% 以上的非晶态材料，在 185nm 深紫外到 3.5μm 红外波段都有优异透过率，且热膨胀系数极低（5.5×10⁻⁷/K），是高端光学系统不可替代的基础材料。
光学级石英玻璃的分级
- JGS1：远紫外光学石英，185–2500nm 高透过，用于紫外光刻、光谱仪；
- JGS2：紫外光学石英，220–2500nm，常规紫外光学元件；
- JGS3：红外光学石英，可见到 3.5μm，用于红外窗口。
典型光学应用
- 光刻机镜头：193nm 准分子激光光刻的镜片材料，纯度与均匀性要求极致；
- 激光光学：高功率激光窗口、透镜、保护镜片，损伤阈值高；
- 航天光学：星载相机窗口、光谱仪基板，耐辐照抗温度交变；
- 精密仪器：光栅基板、标准具、干涉仪参考镜。
加工要点
石英玻璃硬度高且脆，毛坯下料常用环形金刚石线锯切割，后续经研磨、抛光达到光学面形精度。与普通玻璃的区别详见石英玻璃和普通玻璃的四个维度对比。
常见问题
石英玻璃和普通光学玻璃（如 K9）怎么选？
紫外波段、高功率激光、宽温变场合必须用石英玻璃；可见光常规成像用 K9 等光学玻璃性价比更高。
石英玻璃能耐多高温度？
长期使用温度约 1100℃，短期可达 1200℃ 以上，远超普通玻璃。